基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 三氟化硼 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry. Boron trifluoride |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 被GB/T 14603-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1993-08-26 |
| 实施日期： | 1994-07-01 |
| 首发日期： | 1993-08-26 |
| 作废日期： | 2010-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 6页 |
适用范围
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体